(19)
(11) EP 1 853 514 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.11.2007  Patentblatt  2007/46

(21) Anmeldenummer: 05823865.0

(22) Anmeldetag:  21.12.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81B 3/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/057023
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/087045 (24.08.2006 Gazette  2006/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE FI FR GB LI

(30) Priorität: 18.02.2005 DE 102005007540

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • ILLING, Matthias
    72127 Kusterdingen (DE)
  • WEBER, Heribert
    72622 Nuertingen (DE)
  • SCHELLING, Christoph
    72762 Reutlingen (DE)
  • STAHL, Heiko
    72760 Reutlingen (DE)
  • WEISS, Stefan
    72070 Tuebingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRAN