....CHDE....FRGB....LI..................FI......................................*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/0 1710000/01853514A120071114EP05823865.02005122120070918dedede10200500754020050218DE2007111420074620071114200746B81B 3/00 20060101AFI20060829BHEP deMIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT DOPPELMEMBRANenMICROMECHANICAL MEMBRANE SENSOR COMPRISING A DOUBLE MEMBRANEfrCAPTEUR A MEMBRANE MICROMECANIQUE COMPORTANT UNE MEMBRANE DOUBLEROBERT BOSCH GMBH002000503108117Postfach 30 02 2070442 StuttgartDEILLING, MatthiasAlbert-schweitzer-str. 772127 KusterdingenDEWEBER, HeribertIm Hoefle 2872622 NuertingenDESCHELLING, ChristophElsa-braendstroem-str. 4072762 ReutlingenDESTAHL, HeikoBurkhardt-weber-str. 3972760 ReutlingenDEWEISS, StefanMadergasse 572070 TuebingenDECHDEFIFRGBLIEP200505702320051221deWO200608704520060824200634