(19)
(11) EP 1 854 104 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.11.2007  Patentblatt  2007/46

(21) Anmeldenummer: 06705966.7

(22) Anmeldetag:  13.02.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G21K 1/02(2006.01)
B81C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2006/000248
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/092114 (08.09.2006 Gazette  2006/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 03.03.2005 DE 102005010080

(71) Anmelder: Qimonda AG
81739 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LEHMANN, Volker
    80689 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Grillparzerstrasse 14
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER DÜNNSCHICHT-STRUKTUR