(19)
(11)
EP 1 854 104 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
14.11.2007
Patentblatt 2007/46
(21)
Anmeldenummer:
06705966.7
(22)
Anmeldetag:
13.02.2006
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G21K
1/02
(2006.01)
B81C
1/00
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2006/000248
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/092114
(
08.09.2006
Gazette 2006/36)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB
(30)
Priorität:
03.03.2005
DE 102005010080
(71)
Anmelder:
Qimonda AG
81739 München (DE)
(72)
Erfinder:
LEHMANN, Volker
80689 München (DE)
(74)
Vertreter:
Viering, Jentschura & Partner
Grillparzerstrasse 14
81675 München
81675 München (DE)
(54)
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER DÜNNSCHICHT-STRUKTUR