(19)

(11)

EP 1 856 720 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 28.12.2006 (43) Veröffentlichungstag: 21.11.2007  Patentblatt  2007/47 (21) Anmeldenummer: 06722565.6 (22) Anmeldetag:  01.03.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2006/000399 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/094487 (14.09.2006 Gazette  2006/37)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 07.03.2005 DE 102005010821 (71) Anmelder: Technische Universität Berlin 10623 Berlin (DE)	(72) Erfinder: STRITTMATTER, André 13187 Berlin (DE) REISSMANN, Lars 12587 Berlin (DE) BIMBERG, Dieter 14089 Berlin (DE) (74) Vertreter: Fischer, Uwe  Patentanwalt Moritzstrasse 22 13597 Berlin 13597 Berlin (DE)