(19)

(11)

EP 1 859 068 A1

(12)

(43) Date de publication: 28.11.2007  Bulletin  2007/48 (21) Numéro de dépôt: 06709502.6 (22) Date de dépôt:  13.02.2006

(51) Int. Cl.:  C23C 4/08(2006.01) F27D 23/00(2006.01) C23C 4/02(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2006/050123 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/092516 (08.09.2006 Gazette  2006/36)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 03.03.2005 FR 0550565 (71) Demandeur: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75321 Paris Cedex 07 (FR)	(72) Inventeurs: COLSON, Alain F-94100 Saint Maur (FR) FANO, Emmanuel F-94210 La Varenne Saint Hilaire (FR) (74) Mandataire: Conan, Philippe Claude  L'Air Liquide SA Direction de la Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay 75321 Paris Cédex 07 75321 Paris Cédex 07 (FR)