(19)
(11) EP 1 859 479 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
22.04.2009  Patentblatt  2009/17

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
11.02.2009  Patentblatt  2009/07

(21) Anmeldenummer: 06723328.8

(22) Anmeldetag:  09.03.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/304(2006.01)
 B24C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/002193
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/097241 (21.09.2006 Gazette  2006/38)

(54)

VERFAHREN ZUR MIKROSTRUKTURIERUNG VON FESTKÖRPEROBERFLÄCHEN

METHOD FOR MICROSTRUCTURING SOLID SURFACES

PROCEDE POUR MICROSTRUCTURER DES SURFACES DE SOLIDES

(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES IT

(30) Priorität: 16.03.2005 DE 102005012490
25.01.2006 DE 102006003604

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
28.11.2007  Patentblatt  2007/48

(73) Patentinhaber:
  • Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
    80686 München (DE)
  • Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main
    60325 Frankfurt am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • MAYER, Kuno
    79114 Freiburg (DE)
  • KRAY, Daniel
    79112 Freiburg (DE)
  • KOLBESEN, Bernd, O.
    61350 Bad Homburg (DE)
  • HOPMAN, Sybille
    77972 Mahlberg (DE)

(74) Vertreter: Riepe, Hans-Gerd et al
Pfenning, Meinig & Partner GbR Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
D-80339 München
D-80339 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 1 053 831
 EP-A- 1 221 357
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).