HERSTELLUNG EINES TRAEGERSCHEIBEN-KONTAKTS IN GRABENISOLIERTEN INTEGRIERTEN SOI SCHALTUNGEN MIT HOCHSPANNUNGS-BAUELEMENTEN - Patent 1859480

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EP 1 859 480 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	28.11.2007 Patentblatt 2007/48

(21)	Anmeldenummer: 06722586.2

(22)	Anmeldetag: 10.03.2006

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/74^(2006.01)

H01L 21/762^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE2006/000429

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2006/094495 (14.09.2006 Gazette 2006/37)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorität:

10.03.2005 DE 102005010944

(71)	Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
	99097 Erfurt (DE)

(72)	Erfinder:
	LERNER, Ralf 99085 Erfurt (DE)

(74)	Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
	Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)

(54)	HERSTELLUNG EINES TRAEGERSCHEIBEN-KONTAKTS IN GRABENISOLIERTEN INTEGRIERTEN SOI SCHALTUNGEN MIT HOCHSPANNUNGS-BAUELEMENTEN