(19)

(11)

EP 1 861 872 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.12.2007  Patentblatt  2007/49 (21) Anmeldenummer: 05716368.5 (22) Anmeldetag:  24.03.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/003170 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/099885 (28.09.2006 Gazette  2006/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: FR NL (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: FEIL, Michael 81475 München (DE) KOENIG, Martin 81475 München (DE) (74) Vertreter: Zimmermann, Tankred Klaus et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler Patentanwälte Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)