(19)
(11) EP 1 864 115 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
27.05.2009  Patentblatt  2009/22

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
08.10.2008  Patentblatt  2008/41

(21) Anmeldenummer: 06723692.7

(22) Anmeldetag:  24.03.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/64(2006.01)
 G02B 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/002711
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/103025 (05.10.2006 Gazette  2006/40)

(54)

VERFAHREN ZUR MIKROSKOPISCHEN UNTERSUCHUNG EINER RÄUMLICHEN FEINSTRUKTUR

METHOD FOR THE MICROSCOPIC ANALYSIS OF A THREE-DIMENSIONAL MICROSTRUCTURE

PROCEDE D'EXAMEN MICROSCOPIQUE D'UNE STRUCTURE FINE SPATIALE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 26.03.2005 DE 102005013969

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
12.12.2007  Patentblatt  2007/50

(73) Patentinhaber: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HELL, Stefan
    37085 Göttingen (DE)
  • WESTPHAL, Volker
    30161 Hannover (DE)
  • QUAAS, Norbert
    28209 Bremen (DE)

(74) Vertreter: Rehberg Hüppe + Partner 
Patentanwälte Nikolausberger Weg 62
37073 Göttingen
37073 Göttingen (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
DE-A1- 10 154 699
US-B1- 6 259 104
 US-A- 5 254 477
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).