| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE
SI SK TR |
| (30) |
Priorität: |
02.04.2005 DE 102005015212
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| (71) |
Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- DREIFERT, Thomas
50171 Kerpen (DE)
- GIEBMANNS, Wolfgang
50374 Ertstadt (DE)
- KLIEM, Bernhard
48155 Münster (DE)
- THÖREN, Heinz
41470 Neuss (DE)
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| (74) |
Vertreter: von Kirschbaum, Alexander |
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Patent Attorneys von Kreisler Selting Werner,
Deichmannhaus am Dom,
Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE) |
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