(19)
(11) EP 1 866 654 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.12.2007  Patentblatt  2007/51

(21) Anmeldenummer: 06723874.1

(22) Anmeldetag:  30.03.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 1/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/002908
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/103073 (05.10.2006 Gazette  2006/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 30.03.2005 DE 102005014513

(71) Anmelder: ATT Systems GmbH
82152 Martinsried (DE)

(72) Erfinder:
  • EIBL, Markus
    81375 München (DE)

(74) Vertreter: Müller-Boré & Partner Patentanwälte 
Grafinger Strasse 2
81671 München
81671 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TEMPERIEREN EINES SUBSTRATS