(19)
(11)
EP 1 866 654 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
19.12.2007
Patentblatt 2007/51
(21)
Anmeldenummer:
06723874.1
(22)
Anmeldetag:
30.03.2006
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01R
1/04
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/002908
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/103073
(
05.10.2006
Gazette 2006/40)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
30.03.2005
DE 102005014513
(71)
Anmelder:
ATT Systems GmbH
82152 Martinsried (DE)
(72)
Erfinder:
EIBL, Markus
81375 München (DE)
(74)
Vertreter:
Müller-Boré & Partner Patentanwälte
Grafinger Strasse 2
81671 München
81671 München (DE)
(54)
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TEMPERIEREN EINES SUBSTRATS