(19)

(11)

EP 1 869 711 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 01.02.2007 (43) Veröffentlichungstag: 26.12.2007  Patentblatt  2007/52 (21) Anmeldenummer: 06725692.5 (22) Anmeldetag:  10.04.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/78(2006.01) H01L 21/336(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/061497 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/108827 (19.10.2006 Gazette  2006/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 13.04.2005 DE 102005008191 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: DOEHNEL, Jochen 99099 Erfurt (DE) HERING, Siegfried 99198 Kerspleben (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund  Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)