(19)

(11)

EP 1 872 637 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2008  Patentblatt  2008/01 (21) Anmeldenummer: 06722775.1 (22) Anmeldetag:  11.04.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H05H 1/42(2006.01) B05B 7/22(2006.01) C23C 4/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2006/000638 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/108395 (19.10.2006 Gazette  2006/42)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 11.04.2005 DE 102005016582 (71) Anmelder: Dr. Laure Plasmatechnologie Gmbh 70329 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: LAURE, Stefan 70329 Stuttgart (DE) (74) Vertreter: Lucht, Silvia et al Geitz Truckenmüller Lucht Patentanwälte Werthmannstrasse 15 79098 Freiburg 79098 Freiburg (DE)