(19)
(11) EP 1 874 977 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
07.10.2009  Patentblatt  2009/41

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
22.07.2009  Patentblatt  2009/30

(21) Anmeldenummer: 06742611.4

(22) Anmeldetag:  20.04.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/35(2006.01)
 C23C 14/54(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/003593
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/114228 (02.11.2006 Gazette  2006/44)

(54)

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN

PROCESS AND DEVICE FOR COATING SUBSTRATES

PROCEDE ET DISPOSITIF POUR APPLIQUER UN REVETEMENT SUR DES SUBSTRATS

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 25.04.2005 DE 102005019101

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
09.01.2008  Patentblatt  2008/02

(73) Patentinhaber: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • WEINDEL, Christian
    75433 Maulbronn (DE)
  • LUKHAUB, Waldemar
    71665 Vaihingen (DE)
  • PACEARESCU, Larisa c/o HamaTech AG
    75447 Sternenfels (DE)
  • RUDAKOWSKI, Siegmar
    40885 Ratingen (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner 
Siebertstraße 4
81675 München
81675 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A-99/27758
WO-A2-20/06019981
 WO-A-20/05121392
JP-A- 10 130 833
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).