(19)
(11) EP 1 921 656 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.07.2014  Patentblatt  2014/28

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
30.04.2014  Patentblatt  2014/18

(21) Anmeldenummer: 07017531.0

(22) Anmeldetag:  07.09.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
C23C 16/511(2006.01)
C23C 16/40(2006.01)
 C23C 16/515(2006.01)
C23C 16/52(2006.01)
C23C 16/505(2006.01)

(54)

Verfahren und Vorrichtung zur plasmaunterstützten chemischen Dampfphasenabscheidung

Method and device for plasma-aided chemical vapour deposition

Procédé et dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté de plasma

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 10.11.2006 DE 102006053366

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
14.05.2008  Patentblatt  2008/20

(73) Patentinhaber: Auer Lighting GmbH
37581 Bad Gandersheim (DE)

(72) Erfinder:
  • Moelle, Christoph Dr.
    55131 Mainz (DE)
  • Bewig, Lars Dr.
    37581 Bad Gandersheim (DE)
  • Küpper, Thomas
    37581 Bad Gandersheim (DE)
  • Brandt, Lars
    37547 Kreiensen (DE)
  • Niklos, Thomas
    64347 Griesheim (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas F. 
Blumbach - Zinngrebe PatentConsult Patentanwälte Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 1 561 840
US-A- 5 395 453
 DE-C1- 4 114 108
US-A- 5 562 952
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).