(19)
(11) EP 1 925 041 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.05.2008  Patentblatt  2008/22

(21) Anmeldenummer: 06793211.1

(22) Anmeldetag:  05.09.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/053(2006.01)
 H01L 41/09(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/065993
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/031431 (22.03.2007 Gazette  2007/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 13.09.2005 DE 102005043622

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 Munich (DE)

(72) Erfinder:
  • GOTTLIEB, Bernhard
    81739 München (DE)
  • KAPPEL, Andreas
    85649 Brunnthal (DE)
  • SCHWEBEL, Tim
    80337 München (DE)
  • WALLENHAUER, Carsten
    01987 Schwarzheide (DE)

   


(54) PIEZOELEKTRISCHE AKTOREINHEIT BZW. PIEZOELEKTRISCHE ANTRIEBSVORRICHTUNG