PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS EN COUCHES MINCES EN SILICIUM AMORPHE ET POLYCRISTALLIN - Patent 1929518

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EP 1 929 518 A1

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(43)	Date de publication:
	11.06.2008 Bulletin 2008/24

(21)	Numéro de dépôt: 06793054.5

(22)	Date de dépôt: 29.08.2006

(51)

Int. Cl.:

H01L 21/84^(2006.01)

H01L 27/12^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/EP2006/065769

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2007/025962 (08.03.2007 Gazette 2007/10)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30)

Priorité:

30.08.2005 FR 0508878

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75015 Paris (FR)

(72)	Inventeur:
	BENZARTI, Walid F-38100 Grenoble (FR)

(74)	Mandataire: Guérin, Michel
	Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cédex 94117 Arcueil Cédex (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION DE CIRCUITS EN COUCHES MINCES EN SILICIUM AMORPHE ET POLYCRISTALLIN