(19)
(11) EP 1 931 814 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.06.2008  Patentblatt  2008/25

(21) Anmeldenummer: 06806845.1

(22) Anmeldetag:  27.09.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/04(2006.01)
 F01D 5/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/066786
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/042396 (19.04.2007 Gazette  2007/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.10.2005 EP 05021895

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 Munich (DE)

(72) Erfinder:
  • BECK, Thomas
    16341 Panketal (DE)
  • BERNDT, Thomas
    12524 Berlin (DE)
  • LADRU, Francis-Jurjen
    10629 Berlin (DE)
  • MÜLLER, Jean
    10589 Berlin (DE)
  • RIEMANN, Michael
    12309 Berlin (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR INNENBESCHICHTUNG, RETORTE UND VERFAHREN ZUR INNENBESCHICHTUNG