(19)
(11) EP 1 931 941 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.06.2008  Patentblatt  2008/25

(21) Anmeldenummer: 06764297.5

(22) Anmeldetag:  02.08.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/06(2006.01)
G01B 9/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/064954
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/033851 (29.03.2007 Gazette  2007/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 22.09.2005 DE 102005045512
06.04.2006 DE 102006016132

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BURGER, Kurt
    71292 Friolzheim (DE)
  • BECK, Thomas
    71737 Kirchberg (DE)
  • GROSSE, Stefan
    70839 Gerlingen (DE)
  • SCHMIDTKE, Bernd
    70839 Gerlingen (DE)
  • KALLMANN, Ulrich
    72076 Tuebingen (DE)
  • JACKISCH, Sebastian
    70469 Stuttgart (DE)
  • SPENNEMANN, Hartmut
    63741 Aschaffenburg (DE)

   


(54) INTERFEROMETRISCHE SCHICHTDICKENBESTIMMUNG