(19)
(11)
EP 1 931 941 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
18.06.2008
Patentblatt 2008/25
(21)
Anmeldenummer:
06764297.5
(22)
Anmeldetag:
02.08.2006
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01B
11/06
(2006.01)
G01B
9/02
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/064954
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/033851
(
29.03.2007
Gazette 2007/13)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB
(30)
Priorität:
22.09.2005
DE 102005045512
06.04.2006
DE 102006016132
(71)
Anmelder:
ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)
(72)
Erfinder:
BURGER, Kurt
71292 Friolzheim (DE)
BECK, Thomas
71737 Kirchberg (DE)
GROSSE, Stefan
70839 Gerlingen (DE)
SCHMIDTKE, Bernd
70839 Gerlingen (DE)
KALLMANN, Ulrich
72076 Tuebingen (DE)
JACKISCH, Sebastian
70469 Stuttgart (DE)
SPENNEMANN, Hartmut
63741 Aschaffenburg (DE)
(54)
INTERFEROMETRISCHE SCHICHTDICKENBESTIMMUNG