(19)

(11)

EP 1 935 010 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 07.06.2007 (43) Veröffentlichungstag: 25.06.2008  Patentblatt  2008/26 (21) Anmeldenummer: 06807129.9 (22) Anmeldetag:  10.10.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/3065(2006.01) H01L 31/0216(2006.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 21/308(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/067248 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/042520 (19.04.2007 Gazette  2007/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 10.10.2005 DE 102005048366 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE) Technische Universität Ilmenau 98693 Ilmenau (DE)	(72) Erfinder: BACH, Konrad 99189 Tiefthal (DE) GAEBLER, Daniel 98693 Ilmenau (DE) FISCHER, Michael 07407 Uhlstaedt-Kirchhasel (DE) STUBENRAUCH, Mike 98693 Ilmenau (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)