(19)
(11) EP 1 935 035 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.06.2008  Patentblatt  2008/26

(21) Anmeldenummer: 06794005.6

(22) Anmeldetag:  10.10.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
H01L 31/0216(2006.01)
 H01L 31/0236(2006.01)
H01L 21/3065(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/067249
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/042521 (19.04.2007 Gazette  2007/16)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 10.10.2005 DE 102005048365
10.10.2005 DE 102005048363
10.10.2005 DE 102005048362
10.10.2005 DE 102005048361
10.10.2005 DE 102005048360
10.10.2005 DE 102005048359

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • GAEBLER, Daniel
    98693 Ilmenau (DE)
  • BACH, Konrad
    99189 Tiefthal (DE)

(74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al
Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) HERSTELLUNG VON SELBSTORGANISIERTEN NADELARTIGEN NANO-STRUKTUREN UND IHRE RECHT UMFANGREICHEN ANWENDUNGEN