(19)

(11)

EP 1 937 863 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 22.11.2007 (43) Veröffentlichungstag: 02.07.2008  Patentblatt  2008/27 (21) Anmeldenummer: 06818021.5 (22) Anmeldetag:  17.10.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/06(2006.01) C23C 4/08(2006.01) C23C 28/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2006/001837 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/045225 (26.04.2007 Gazette  2007/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 20.10.2005 DE 102005050661 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: MACK, Daniel, Emil 52353 Düren (DE) GROSS, Sonja-Michaela 52070 Aachen (DE) VASSEN, Robert 52134 Herzogenrath (DE) STÖVER, Detlev 52382 Nierderzier (DE)