(19)

(11)

EP 1 937 869 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.07.2008  Bulletin  2008/27 (21) Numéro de dépôt: 06793869.6 (22) Date de dépôt:  27.09.2006

(51) Int. Cl.:  C23C 16/40(2006.01) C23C 16/02(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2006/066810 (87) Numéro de publication internationale: WO 2007/036544 (05.04.2007 Gazette  2007/14)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 27.09.2005 FR 0509851 (71) Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 75016 Paris (FR)	(72) Inventeurs: BOUKHERROUB, Rabah F-59650 Villeneuve d'Ascq (FR) SZUNERITS, Sabine F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Warcoin, Jacques et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)