PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE EN COUCHES MINCES ET STRUCTURE EN COUCHES MINCES AINSI OBTENUE - Patent 1941538

(19)

(11)

EP 1 941 538 A1

(12)

(43)	Date de publication:
	09.07.2008 Bulletin 2008/28

(21)	Numéro de dépôt: 06831014.3

(22)	Date de dépôt: 25.10.2006

(51)

Int. Cl.:

H01L 21/265^(2006.01)

H01L 21/20^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2006/002400

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2007/048928 (03.05.2007 Gazette 2007/18)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30)

Priorité:

28.10.2005 FR 0511079

(71)	Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
	75015 Paris (FR)

(72)	Inventeurs:
	EYMERY, Joël F-38360 Sassenage (FR) POCHET, Pascal F-38140 La Murette (FR)

(74)	Mandataire: Bonnans, Arnaud
	Santarelli, 14 avenue de la Grande Armée, BP 237 75822 Paris Cedex 17 75822 Paris Cedex 17 (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE EN COUCHES MINCES ET STRUCTURE EN COUCHES MINCES AINSI OBTENUE