(19)

(11)

EP 1 943 369 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.07.2008  Patentblatt  2008/29 (21) Anmeldenummer: 06805414.7 (22) Anmeldetag:  12.10.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/02(2006.01) C23C 28/00(2006.01) C23C 4/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2006/001797 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/045217 (26.04.2007 Gazette  2007/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 19.10.2005 DE 102005050045 (71) Anmelder: Praxair S.T. Technology, Inc. North Haven, CT 06473 (US)	(72) Erfinder: STOLTENHOFF, Thorsten 58256 Ennepetal (DE) GORRIS, Klaus 46236 Bottrop (DE) (74) Vertreter: Schwan - Schwan - Schorer  Patentanwälte European Patent Attorneys Bauerstrasse 22 80796 München 80796 München (DE)