(19)

(11)

EP 1 945 834 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 01.11.2007 (43) Veröffentlichungstag: 23.07.2008  Patentblatt  2008/30 (21) Anmeldenummer: 06818401.9 (22) Anmeldetag:  07.11.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 28/00(2006.01) C23C 30/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/010655 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/054265 (18.05.2007 Gazette  2007/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 08.11.2005 DE 102005053531 (71) Anmelder: MAN TURBO AG 46145 Oberhausen (DE)	(72) Erfinder: CHANDRA, Sharad 46145 Oberhausen (DE) CZECH, Norbert 46286 Dorsten (DE) (74) Vertreter: Wallinger, Michael  Wallinger Ricker Schlotter Foerstl Patent- und Rechtsanwälte Zweibrückenstrasse 5-7 80331 München 80331 München (DE)