(19)

(11)

EP 1 946 377 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 21.06.2007 (43) Veröffentlichungstag: 23.07.2008  Patentblatt  2008/30 (21) Anmeldenummer: 06793619.5 (22) Anmeldetag:  19.09.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/06(2006.01) H01L 29/861(2006.01) H01L 29/24(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/066482 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/036456 (05.04.2007 Gazette  2007/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 29.09.2005 DE 102005046707 (71) Anmelder: SiCED Electronics Development GmbH & Co KG 91058 Erlangen (DE)	(72) Erfinder: FRIEDRICHS, Peter 90475 Nürnberg (DE) PETERS, Dethard 91315 Höchstadt (DE) SCHÖRNER, Reinhold 91091 Grossenseebach (DE) STEPHANI, Dietrich 91088 Bubenreuth (DE) (74) Vertreter: Maier, Daniel Oliver  Siemens Aktiengesellschaft Postfach 22 16 34 80506 München 80506 München (DE)