(19)
(11) EP 1 946 623 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
22.11.2007

(43) Veröffentlichungstag:
23.07.2008  Patentblatt  2008/30

(21) Anmeldenummer: 06793298.8

(22) Anmeldetag:  07.09.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/24(2006.01)
 H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/066100
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/028813 (15.03.2007 Gazette  2007/11)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 09.09.2005 DE 102005043278
24.09.2005 DE 102005045825

(71) Anmelder: Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik e.V.
17489 Greifswald (DE)

(72) Erfinder:
  • KROHMANN, Udo
    17033 Neubrandenburg (DE)
  • NEUMANN, Torsten
    17036 Neubrandenburg (DE)
  • EHLBECK, Jörg
    17498 Hinrichshagen (DE)
  • RACKOW, Kristian
    17129 Bentzin (DE)

(74) Vertreter: Garrels, Sabine 
Schnick & Garrels, Schonenfahrerstrasse 7
18057 Rostock
18057 Rostock (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ZÜNDEN UND ERZEUGEN EINES SICH AUSDEHNENDEN, DIFFUSEN MIKROWELLENPLASMAS SOWIE VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMABEHANDLUNG VON OBERFLÄCHEN UND STOFFEN MITTELS DIESES PLASMAS