(19)

(11)

EP 1 948 847 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.11.2007 (43) Veröffentlichungstag: 30.07.2008  Patentblatt  2008/31 (21) Anmeldenummer: 06818550.3 (22) Anmeldetag:  15.11.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/12(2006.01) C23C 18/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/010949 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/057166 (24.05.2007 Gazette  2007/21)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 15.11.2005 DE 102005054821 04.01.2006 DE 102006000886 (71) Anmelder: Atech Innovations GmbH 45966 Gladbeck (DE)	(72) Erfinder: BOLDUAN, Peter 49549 Ladbergen (DE) MUND, Peter 48161 Münster (DE) CATANIA, Giovanni 45891 Gelsenkirchen (DE) (74) Vertreter: Gesthuysen, Michael  Gesthuysen, von Rohr & Eggert, Huyssenallee 100 45128 Essen 45128 Essen (DE)