(19)

(11)

EP 1 952 164 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.08.2008  Bulletin  2008/32 (21) Numéro de dépôt: 06807291.7 (22) Date de dépôt:  16.10.2006

(51) Int. Cl.:  G01P 3/80(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2006/067433 (87) Numéro de publication internationale: WO 2007/051699 (10.05.2007 Gazette  2007/19)

(84) Etats contractants désignés: DE FR (30) Priorité: 04.11.2005 FR 0511255 (71) Demandeur: E2V Semiconductors 38120 Saint Egreve (FR)	(72) Inventeurs: CARANHAC, Sophie F-38410 Uriage (FR) CHIAPPA, Jean-Marc F-38250 Lans en Vercors (FR) RAMEL, Romain F-38120 Saint Egreve (FR) (74) Mandataire: Guérin, Michel  Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cédex 94117 Arcueil Cédex (FR)