(19)

(11)

EP 1 952 441 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.08.2008  Bulletin  2008/32 (21) Numéro de dépôt: 06831137.2 (22) Date de dépôt:  20.11.2006

(51) Int. Cl.:  H01L 27/13(2006.01) H01L 21/84(2006.01) H01L 21/786(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2006/002543 (87) Numéro de publication internationale: WO 2007/060314 (31.05.2007 Gazette  2007/22)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 22.11.2005 FR 0511798 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: TEMPLIER, François F-38500 Voiron (FR) MORICEAU, Hubert F-38120 Saint-Egreve (FR) MOUREY, Bruno F-38500 Coublevie (FR) DI CIOCCIO, Léa F-38330 Saint Ismier (FR) (74) Mandataire: Quantin, Bruno Marie Henri  Santarelli 14 Avenue de la Grande Armée B.P. 237 75822 Paris Cedex 17 75822 Paris Cedex 17 (FR)