(19)
(11) EP 1 954 852 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.08.2008  Patentblatt  2008/33

(21) Anmeldenummer: 06819598.1

(22) Anmeldetag:  20.11.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/455(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
 C23C 16/458(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/068642
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/060143 (31.05.2007 Gazette  2007/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 25.11.2005 DE 102005056324

(71) Anmelder: Aixtron AG
52072 Aachen (DE)

(72) Erfinder:
  • KÄPPELER, Johannes
    52146 Würselen (DE)
  • FRANKEN, Walter
    52249 Eschweiler (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
c/o Rieder & Partner, Corneliusstrasse 45
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) CVD-REAKTOR MIT AUSWECHSELBARER PROZESSKAMMERDECKE