(19)
(11) EP 1 955 364 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.08.2008  Patentblatt  2008/33

(21) Anmeldenummer: 06818095.9

(22) Anmeldetag:  24.11.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/20(2006.01)
H01L 21/027(2006.01)
 H01L 21/285(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2006/002068
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/059750 (31.05.2007 Gazette  2007/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.11.2005 DE 102005056879

(71) Anmelder: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
24118 Kiel (DE)

(72) Erfinder:
  • ADELUNG, Rainer
    24118 Kiel (DE)
  • JEBRIL, Seid
    24118 Kiel (DE)
  • ELBAHRI, Mady
    24104 Kiel (DE)
  • REHDERS, Stefan
    24232 Schönkirchen (DE)

(74) Vertreter: Biehl, Christian 
Boehmert & Boehmert, Anwaltssozietät, Niemannsweg 133
24105 Kiel
24105 Kiel (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER MEHRZAHL REGELMÄSSIG ANGEORDNETER NANOVERBINDUNGEN AUF EINEM SUBSTRAT