(19)

(11)

EP 1 957 247 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.08.2008  Patentblatt  2008/34 (21) Anmeldenummer: 06829352.1 (22) Anmeldetag:  06.12.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B28D 5/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/011724 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/065665 (14.06.2007 Gazette  2007/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 06.12.2005 DE 102005058269 (71) Anmelder: Stangl Semiconductor Equipment AG 82223 Eichenau (DE)	(72) Erfinder: STANGL, Wolfgang 82223 Eichenau (DE) STANGL, Hans-Jürgen 78579 Neuhausen o. E. (DE) (74) Vertreter: Stöckeler, Ferdinand et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler Patentanwälte Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)