(19)

(11)

EP 1 957 691 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.08.2007 (43) Veröffentlichungstag: 20.08.2008  Patentblatt  2008/34 (21) Anmeldenummer: 06819411.7 (22) Anmeldetag:  13.11.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/54(2006.01) C23C 18/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/068369 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/062974 (07.06.2007 Gazette  2007/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 30.11.2005 DE 102005057384 (71) Anmelder: Nanogate AG 66121 Saarbrücken (DE)	(72) Erfinder: SANDER, Jürgen 66132 Saarbrücken (DE) LUDT, Wolfgang 66271 Hanweiler (DE) (74) Vertreter: Jönsson, Hans-Peter  Patentanwälte von Kreisler Selting Werner Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE)