(19)
(11) EP 1 958 241 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
08.11.2007

(43) Veröffentlichungstag:
20.08.2008  Patentblatt  2008/34

(21) Anmeldenummer: 06829345.5

(22) Anmeldetag:  06.12.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
H01L 21/322(2006.01)
H01L 21/324(2006.01)
 H01L 21/306(2006.01)
H01L 21/205(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/011716
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/065658 (14.06.2007 Gazette  2007/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 08.12.2005 DE 102005058713

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • REBER, Stefan
    79194 Gundelfingen (DE)
  • WILLEKE, Gerhard
    79183 Waldkirch (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR TROCKENCHEMISCHEN BEHANDLUNG VON SUBSTRATEN, SOWIE DESSEN VERWENDUNG