(19)

(11)

EP 1 958 262 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 20.08.2008  Patentblatt  2008/34 (21) Anmeldenummer: 06819931.4 (22) Anmeldetag:  08.12.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/78(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/069475 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/065946 (14.06.2007 Gazette  2007/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 10.12.2005 DE 102005059035 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: LERNER, Ralf 99085 Erfurt (DE) ECKHOLDT, Uwe 99448 Hohenfelden (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund  Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)