(19)
(11) EP 1 960 307 A1

(12)

(43) Date de publication:
27.08.2008  Bulletin  2008/35

(21) Numéro de dépôt: 06841917.5

(22) Date de dépôt:  12.12.2006
(51) Int. Cl.: 
B81B 3/00(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2006/002713
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2007/080259 (19.07.2007 Gazette  2007/29)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 15.12.2005 FR 0512740

(71) Demandeur: Ecole Polytechnique
91128 PalaiseauCédex (FR)

(72) Inventeurs:
  • ROWE, Alistair
    F-91400 Orsay (FR)
  • RENNER, Christoph
    Londres W1G 6LX (GB)
  • ARSCOTT, Steve
    F-59130 Lambersart (FR)

(74) Mandataire: Boire, Philippe Maxime Charles 
Cabinet Plasseraud 52 rue de la Victoire
75440 Paris Cedex 09
75440 Paris Cedex 09 (FR)

   


(54) SYSTEME MICRO-ELECTROMECANIQUE COMPRENANT UNE PARTIE DEFORMABLE ET UN DETECTEUR DE CONTRAINTE