(19)
(11) EP 1 966 574 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.09.2008  Patentblatt  2008/37

(21) Anmeldenummer: 06819747.4

(22) Anmeldetag:  24.11.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 5/12(2006.01)
 H01L 31/09(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/068881
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/071525 (28.06.2007 Gazette  2007/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR SE

(30) Priorität: 21.12.2005 DE 102005061148

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HOEFER, Holger
    72820 Sonnenbuehl (DE)
  • GROSSE, Axel
    72793 Pfullingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHE STRUKTUR MIT EINEM SUBSTRAT UND EINEM THERMOELEMENT, TEMPERATUR UND/ODER STRAHLUNGSSENSOR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG IENER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR