(19)
(11) EP 1 966 831 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.08.2007

(43) Veröffentlichungstag:
10.09.2008  Patentblatt  2008/37

(21) Anmeldenummer: 06841601.5

(22) Anmeldetag:  22.12.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/032(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
 H01L 31/0336(2006.01)
H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/070178
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/077171 (12.07.2007 Gazette  2007/28)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE ES FR

(30) Priorität: 28.12.2005 DE 102005062977

(71) Anmelder: Sulfurcell Solartechnik GmbH
12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • VON KLOPMANN, Christian
    12459 Berlin (DE)
  • MEYER, Nilolaus
    10245 Berlin (DE)
  • LUCK, Ilka
    10119 Berlin (DE)
  • SCHMID, Dieter
    12489 Berlin (DE)
  • MEEDER, Alexander
    10629 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Neigenfink, Jan Cornelius et al
Gulde, Hengelhaupt, Ziebig & Schneider Wallstraße 58/59
10179 Berlin
10179 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR UMSETZUNG METALLISCHER VORLÄUFERSCHICHTEN ZU CHALKOPYRITSCHICHTEN VON CIGSS-SOLARZELLEN