(19)

(11)

EP 1 971 703 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 07.04.2005 (43) Date de publication: 24.09.2008  Bulletin  2008/39 (21) Numéro de dépôt: 04767596.2 (22) Date de dépôt:  07.07.2004

(51) Int. Cl.:  C23C 16/26(2006.01) C23C 16/02(2006.01) C23C 16/452(2006.01) C01B 31/02(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2004/001761 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/005685 (20.01.2005 Gazette  2005/03)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 09.07.2003 FR 0308365 (71) Demandeurs: Société Newstep 75013 Paris (FR) UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1 69100 Villeurbanne (FR) CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 75016 Paris (FR)	(72) Inventeurs: FAVREAU, Jean-Chrétien F-75018 Paris (FR) VU THIEN, Binh F-69007 Lyon (FR) MAUGER, Matthieu F-69100 Villeurbanne (FR) (74) Mandataire: Guéné, Patrick Lucien Juan Joseph  Cabinet Vidon Technopôle Atalante 16B, rue de Jouanet 35703 Rennes Cedex 35703 Rennes Cedex (FR)