(19)

(11)

EP 1 974 374 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.10.2008  Patentblatt  2008/40 (21) Anmeldenummer: 07704040.0 (22) Anmeldetag:  19.01.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/66(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/050572 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/082950 (26.07.2007 Gazette  2007/30)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 20.01.2006 DE 102006002753 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: FREYWALD, Karlheinz 99086 Erfurt (DE) HOELZER, Gisbert 99089 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)