ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRISYU........*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/0 1710000/01974374A120081001EP07704040.02007011920080725dedede10200600275320060120DE2008100120084020081001200840H01L 21/66 20060101AFI20070831BHEP deBEWERTUNG EINER UNTERAETZUNG VON TIEFEN GRABENSTRUKTUREN IN SOI-SCHEIBENenEVALUATION OF AN UNDERCUT OF DEEP TRENCH STRUCTURES IN SOI WAFERSfrEVALUATION D'UNE GRAVURE SOUS-JACENTE DE STRUCTURES SOUS FORME DE TRANCHEES PROFONDES DANS DES TRANCHES SOIX-FAB Semiconductor Foundries AG0316595112044epHaarbergstrasse 6799097 ErfurtDEFREYWALD, KarlheinzAmmertalweg 999086 ErfurtDEHOELZER, GisbertNettelbeckufer 1299089 ErfurtDELeonhard, Frank Reimundet al00072811Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 6280083 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEISITLILTLULVMCNLPLPTROSESISKTREP200705057220070119deWO200708295020070726200730