(19)
(11) EP 1 979 875 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.10.2008  Patentblatt  2008/42

(21) Anmeldenummer: 06841039.8

(22) Anmeldetag:  19.12.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G06T 7/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/012233
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/079934 (19.07.2007 Gazette  2007/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 07.01.2006 DE 102006000946

(71) Anmelder: ISRA Vision AG
64297 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • ERSÜ, Enis
    64297 Darmstadt (DE)
  • LAUX, Wolfram
    64342 Seeheim-Jugenheim (DE)

(74) Vertreter: KEIL & SCHAAFHAUSEN Patentanwälte 
Cronstettenstraße 66
60322 Frankfurt am Main
60322 Frankfurt am Main (DE)

   


(54) VERFAHREN UND SYSTEM ZUR OPTISCHEN INSPEKTION EINER PERIODISCHEN STRUKTUR