(19)
(11)
EP 1 982 219 A2
(12)
(88)
Veröffentlichungstag A3:
20.09.2007
(43)
Veröffentlichungstag:
22.10.2008
Patentblatt 2008/43
(21)
Anmeldenummer:
07711155.7
(22)
Anmeldetag:
24.01.2007
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G02B
6/08
(2006.01)
G21K
1/06
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2007/000126
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/090364
(
16.08.2007
Gazette 2007/33)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
BE DE FR GB IT NL
(30)
Priorität:
10.02.2006
DE 102006006283
(71)
Anmelder:
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)
(72)
Erfinder:
FEIGL, Thorsten
07743 Jena (DE)
BERNOIT, Nicolas
07743 Jena (DE)
YULIN, Sergiy
07745 Jena (DE)
KAISER, Nobert
07745 Jena (DE)
(74)
Vertreter:
Epping - Hermann - Fischer
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)
(54)
THERMISCH STABILER MULTILAYER-SPIEGEL FÜR DEN EUV-SPEKTRALBEREICH