(19)
(11) EP 1 982 219 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.09.2007

(43) Veröffentlichungstag:
22.10.2008  Patentblatt  2008/43

(21) Anmeldenummer: 07711155.7

(22) Anmeldetag:  24.01.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 6/08(2006.01)
G21K 1/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2007/000126
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/090364 (16.08.2007 Gazette  2007/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE DE FR GB IT NL

(30) Priorität: 10.02.2006 DE 102006006283

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FEIGL, Thorsten
    07743 Jena (DE)
  • BERNOIT, Nicolas
    07743 Jena (DE)
  • YULIN, Sergiy
    07745 Jena (DE)
  • KAISER, Nobert
    07745 Jena (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) THERMISCH STABILER MULTILAYER-SPIEGEL FÜR DEN EUV-SPEKTRALBEREICH