(19)

(11)

EP 1 982 233 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 04.10.2007 (43) Veröffentlichungstag: 22.10.2008  Patentblatt  2008/43 (21) Anmeldenummer: 06840995.2 (22) Anmeldetag:  15.12.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/012120 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/085290 (02.08.2007 Gazette  2007/31)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR NL (30) Priorität: 30.01.2006 US 341894 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SORG, Franz 73433 Aalen (DE) DEUFEL, Peter 89551 Königsbronn (DE) GRUNER, Toralf 73433 Aalen-Hofen (DE) (74) Vertreter: Raunecker, Klaus Peter  Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft Alte Ulmer Straße 2 D-89522 Heidenheim D-89522 Heidenheim (DE)