(19)

(11)

EP 1 982 358 A1

(12)

(43) Date de publication: 22.10.2008  Bulletin  2008/43 (21) Numéro de dépôt: 07704360.2 (22) Date de dépôt:  05.02.2007

(51) Int. Cl.:  H01L 29/786(2006.01) H01L 29/06(2006.01) H01L 51/05(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2007/051076 (87) Numéro de publication internationale: WO 2007/090814 (16.08.2007 Gazette  2007/33)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 07.02.2006 FR 0601074 (71) Demandeur: Ecole Polytechnique 91128 PALAISEAU CEDEX (FR)	(72) Inventeurs: PRIBAT, Didier F-92310 Sevres (FR) COJOCARU, Costel-Sorin F-91120 Palaiseau (FR) (74) Mandataire: Esselin, Sophie et al Marks & Clerk France 31-33 Avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)