(19)
(11) EP 1 987 337 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.11.2008  Patentblatt  2008/45

(21) Anmeldenummer: 07703486.6

(22) Anmeldetag:  16.02.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/00(2006.01)
B81B 3/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/001344
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/098863 (07.09.2007 Gazette  2007/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR

(30) Priorität: 24.02.2006 DE 102006008584

(71) Anmelder: ATMEL Germany GmbH
74072 Heilbronn (DE)

(72) Erfinder:
  • WUERTZ, Alida
    71672 Marbach (DE)

(74) Vertreter: Koch Müller Patentanwaltsgesellschaft mbH 
Maasstrasse 32/1
69123 Heidelberg
69123 Heidelberg (DE)

   


(54) FERTIGUNGSPROZESS FÜR INTEGRIERTE PIEZO-BAUELEMENTE