(19)
(11)
EP 1 987 337 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
05.11.2008
Patentblatt 2008/45
(21)
Anmeldenummer:
07703486.6
(22)
Anmeldetag:
16.02.2007
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
G01L
9/00
(2006.01)
B81B
3/00
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/001344
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/098863
(
07.09.2007
Gazette 2007/36)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
DE FR
(30)
Priorität:
24.02.2006
DE 102006008584
(71)
Anmelder:
ATMEL Germany GmbH
74072 Heilbronn (DE)
(72)
Erfinder:
WUERTZ, Alida
71672 Marbach (DE)
(74)
Vertreter:
Koch Müller Patentanwaltsgesellschaft mbH
Maasstrasse 32/1
69123 Heidelberg
69123 Heidelberg (DE)
(54)
FERTIGUNGSPROZESS FÜR INTEGRIERTE PIEZO-BAUELEMENTE