(19)

(11)

EP 1 987 398 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.10.2007 (43) Veröffentlichungstag: 05.11.2008  Patentblatt  2008/45 (21) Anmeldenummer: 07703496.5 (22) Anmeldetag:  16.02.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G03F 7/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/001358 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/096094 (30.08.2007 Gazette  2007/35)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 22.02.2006 DE 102006008080 (71) Anmelder: KLEO Maschinenbau AG 9050 Appenzell (CH)	(72) Erfinder: OPOWER, Hans 82152 Krailling (DE) SCHARL, Stefan 88142 Wasserburg (DE) (74) Vertreter: Hoeger, Stellrecht & Partner Patentanwälte  Uhlandstrasse 14 c 70182 Stuttgart 70182 Stuttgart (DE)