(19)

(11)

EP 1 987 550 A1

(12)

(43) Date of publication: 05.11.2008 Bulletin 2008/45 (21) Application number: 07715871.5 (22) Date of filing: 08.02.2007

(51) International Patent Classification (IPC):  H01L 35/24(2006.01) H01L 51/42(2006.01) E04D 3/35(2006.01) H01L 31/04(2006.01) H01L 35/00(2006.01) (86) International application number: PCT/NL2007/050051 (87) International publication number: WO 2007/091890 (16.08.2007 Gazette 2007/33)

(84) Designated Contracting States: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priority: 08.02.2006 EP 06075277 (71) Applicant: Nederlandse Organisatie voor Toegepast- Natuurwetenschappelijk Onderzoek 2628 VK Delft (NL)	(72) Inventor: NIJBOER, Christiaan, Aloysius, Jozef NL-2512 CT Den Haag (NL) (74) Representative: Hatzmann, Martin et al Vereenigde Johan de Wittlaan 7 2517 JR Den Haag 2517 JR Den Haag (NL)